Laser Scribing

Laser scribing de alta velocidad sobre obleas de silicio.

Las obleas se pueden alimentar en casettes o en stack. Manipulación mediante un robot de 3 ejes Adept Vicron.

Posibilidad de grabado simultáneo en 2 mesas de coordenadas y con 2 cabezales láser por mesa.

Unidades laser de NdY de Spectra Physics con ópticas compactas.

La máquina dispone de la posibilidad de desarrollar diferentes procesos de forma simultánea.

Características:

• Velocidad de grabado de 800 mm/s.
• Velocidad de corte de 200 mm/s.
• Parámetros de trabajo configurables por el usuario.
• Carga y descarga de la máquina sin parada del proceso.